나노제품

  • · 기업명(주)앤피에스
  • · 주역업종 및 제품급속열처리장비 및 그래핀합성장비(RT-CVD)
  • · 분야 기타
그래핀합성장비
핵심기술 및 특징

■ 핵심기술  
 - 그래핀 합성 반응(RT-CVD) 챔버의 최적화 구조.

 - Laminar Flow 형성을 위한 가스공급부 및 배기구의 최적 구조.

 - Reflector를 구비한 텅스텐 할로겐 램프를 이용하여 제어가 가능한 급속 승온 및 하강이 가능한 구조.

 - 보조 가열부를 이용하여 기판에 최적의 합성조건 위한 공간이 형성된 구조.

 - 대면적 그래핀 합성이 가능한 구조 : □250X300, □300X400, □500X600, □900X1600 (mm2)

 - 정밀한 온도제어를 위해 제어 알고리즘이 적용된 DSP Board 및 Power Control Board 적용.

 

■ 제품특징
 - 정밀한 온도제어를 이용하여 균일한 품질의 Single Layer 그래핀 합성 품질 제공.

 - 유량 및 압력제어를 통한 챔버 내 균일한 합성 조건 유지.

 - T-CVD보다 합성시간 단축으로 Throughput 개선.

 - 유량, 온도, 압력, Lamp Power등 각종 Analog Output에 대한 Data 저장이 가능하여 합성품질의 이상발생 시 원인 분석이 용이함.

제품정보 자세히 보기 목록

관심 기업 및 제품