나노제품

  • · 기업명(주)아이켐스
  • · 주역업종 및 제품ALD/CVD 전구체 화합물 개발 및 생산
  • · 분야 기능성 소재, 기타
ALD/CVD 전구체
핵심기술 및 특징

■ 핵심기술  

 - 현재 반도체(전구체 분야) 시장에서 가장 중요하게 평가되는 Capacitor와 Gate Oxide 분야의 High-k HfO2, ZrO2, TiO2 전구체와 3D-NAND, Logic 분야의 SixNy, SiO2용 전구체 및 전극, 배선용 Metal(또는 Metal nitride용 전구체)을 개발 완료

 

■ 제품특징

 - 칩 메이커에서 요구하는 ALD/CVD 전구체의 품질 사양은 보다 더 강화

 - 고객사의 요청에 맞춘 spec. 구현가능

 

 

분야

 

 

전구체 보유 기술

 

 Gate electrode 

TiCl4, TDMATi, Ru(EtCp)2

 Gate dielectric 

TEMAZr, CpZr, TEMAHf, CpHf, TMA, Cp*Ti(OMe)3, HTB, TBTDETa, TDMAHf

 Capacitor electrode 

TiCl4, TDMATi, Ru(EtCp)2, Mo

 Capacitor dielectric 

TEMAZr, CpZr, TEMAHf, CpHf, TMA, Cp*Ti(OMe)3

 DPT ULTO 

DIPAS, BDEAS, HCDS

 Via / Inter-connect 

DMEAA, MPA, DMAH 

 Gap fill 

TRIDMAS, DIPAS, BDEAS 

 Barrier metal 

 TiCl4, TDMATi, TBTDETa, TBTEMTa, CpTa, Ru(EtCp)2

 Contact Metal 

 CCTBA, CpCo(CO)2, TBDMW, Ni(EtCp)2 

 Organic ligand 

 Pentamethylcyclopentadiene, N-Methyl-2,4-cyclopentadiene-1-ethaneamine(CPN) 

ITO, IGZO

DEZ, DMGIP

제품정보 자세히 보기 목록

관심 기업 및 제품